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真空鍍膜設(shè)備主要指壹類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沈積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。 蒸發(fā)鍍膜壹般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，並且沈降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。 對於濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，並使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，並且最終沈積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，最終形成薄膜。
使用步驟 壹、電控櫃的操作 1. 開水泵、氣源 2. 開總電源 3. 開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小於10後，再進入下壹步操作。約需5分鐘。 4. 開機械泵、予抽，開渦輪分子泵電源、啟動，真空計開關(guān)換到V2位置，抽到小於2為止，約需20分鐘。 5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以後，關(guān)予抽，開前機和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達壹定程度後才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達2×10-3以後才能開電子槍電源。 二、DEF-6B電子槍電源櫃的操作 1. 總電源 2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān)，延時、電源及保護燈亮，三分鐘後延時及保護燈滅，若後門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。 3. 開高壓，高壓會達到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。 三、關(guān)機順序 1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。 2. 待分子泵顯示到50時，依次關(guān)高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。 3. 到50以下時，再關(guān)維持泵 適用範圍 1．建築五金：衛(wèi)浴五金（如水龍頭）．門鎖．門拉手．衛(wèi)浴、門鎖、五金合葉、家具等 2．制表業(yè)：可用於表殼．表帶的鍍膜、水晶制品 3．其它小五金：皮革五金．不銹鋼餐具．眼鏡框、刀具、模具等． 4．大型工件：汽車輪轂、不銹鋼板．招牌．雕塑等 5、不銹鋼管和板（各種類型表面） 6、家具、燈具、賓館用具 7、鎖具、拉手、衛(wèi)浴五金、高爾夫球頭、不銹鋼餐具、器血等五金制品鍍超硬裝飾膜。 8、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾（金銀）納米膜和納米膜和納米疊層膜
維護和保養(yǎng) 1、真空鍍膜設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室壹次。方法是：用燒堿（NaOH）飽和溶液反復真空鍍膜設(shè)備擦洗真空室內(nèi)壁，（ 註意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應，反應後膜層脫落，並釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的汙垢。 2、當粗抽泵（滑閥泵，旋片泵）連續(xù)工作壹個月（雨季減半），需更換新油。方法是：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦幹凈箱內(nèi)汙垢。 3、擴散泵連續(xù)使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤，將壹級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗壹遍，再用洗衣粉兌水清洗壹遍，然後用清水徹底清洗幹凈，待水份揮發(fā)幹以後，裝好泵膽，加入新擴散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要註意檢漏工作。方法是：啟動維持泵，關(guān)好大門，數(shù)分鐘後，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患後方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，真空鍍膜設(shè)備無法進入工作狀態(tài)。
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