技術中心
| 真空系統怎么保養和維護？ |
| 發布時間：2025-04-10 瀏覽： 次 |
|
真空系統的保養對于維持其性能、延長使用壽命和確保操作安全至關重要。下面是真空鍍膜機日常維護和保養的一些知識僅供學習：
一、定期檢查與維護 泄漏檢測：定期使用氦質譜儀、真空計或丙酮噴霧法檢查系統是否存在泄漏(尤其是焊縫、密封件和閥門處)。 真空度監測：記錄真空泵的極限壓力和抽速，異常下降可能提示泄漏或泵故障。 清潔內部：防止灰塵、顆粒或冷凝物積聚(特別是擴散泵、冷阱、腔室等)，使用無塵手套和專用清潔劑。 分子泵： 避免在低真空下啟動，防止軸承損壞。 定期檢查振動和噪音，異常需停機檢修。 二、密封與連接部件 密封圈(O型圈、法蘭密封)： 定期檢查老化、裂紋或變形(常用材質如氟橡膠、丁腈橡膠)。更換時涂抹真空脂(如硅脂)，避免過度擠壓。 閥門與法蘭： 確保閥門開關靈活，無卡滯;金屬密封閥需檢查密封面磨損。 法蘭連接螺栓需均勻緊固，防止應力不均導致泄漏。 2、真空泵的維護 油潤滑泵(旋片泵、擴散泵)：定期更換油(根據使用頻率，一般每3-6個月)，舊油會降低抽氣效率。檢查油位和油顏色，若油渾濁或乳化，需立即更換。 避免泵油返流到真空腔室，停機前可通大氣或使用防返油閥。 干式泵(渦旋泵、螺桿泵)：清潔泵腔內的顆粒物，防止磨損。檢查軸承和密封件磨損情況。 三、冷阱與過濾系統 冷阱：定期除霜(若用于冷凝水蒸氣或油蒸氣)，避免冰堵。 過濾器：更換或清潔入口過濾器(防止顆粒進入泵內)，特別是處理粉塵或腐蝕性氣體的系統。 四、記錄與備件 維護日志：記錄每次保養時間、更換部件和真空性能數據。 備件儲備：常備易損件(密封圈、泵油、過濾器等)。 五、特殊系統注意事項 超高真空系統：需高溫烘烤除氣，使用無氧銅密封等特殊材料。 腐蝕性氣體系統：選擇耐腐蝕泵和管路(如PTFE涂層)，增加洗滌裝置。 六、環境與操作習慣 環境清潔：保持實驗室/車間清潔，避免灰塵進入系統。 規范操作：避免突然抽高真空(尤其是有液體或松散材料的腔室)。 七、電氣與安全 電源與冷卻： 檢查泵的冷卻系統(水冷或風冷)是否正常，避免過熱。 確保電源電壓穩定，電機電流無異常。 安全防護：系統停機時先泄壓(避免油泵倒吸)。處理有毒或腐蝕性氣體時，配備廢氣處理裝置(如堿液吸收罐)。停機順序：先關閉高真空閥，再停前級泵，最后通大氣。 |
  |
