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| 真空鍍膜機設備的主要構成 |
| 發布時間：2013-12-18 瀏覽： 次 |
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高真空鍍膜機一般由以下幾部分組成：真空系統、高真空鍍膜工作室、電氣控制與安全保護系統。 采用電阻加熱，可加熱蒸發各種非難熔的金屬與非金屬材料。電極用橡膠圈與真空室底版密封，為了防止在加熱時電極過熱致使密封破壞，對電極通水冷卻。電阻加熱元件采用高熔點的金屬鉬片制成舟狀，蒸發材料置于舟內, 本實驗中用于蒸發金屬銀
1、機械泵：機械泵是利用機械方法來獲得低真空的主要設備，也是高真空機組的前級泵。機械泵主要有圓柱形定子、偏心轉子和滑動翼片組成。機械泵不宜用于抽蒸汽；轉動方向必須是順時針方向；停止工作后要防止“返油”，故在抽氣口裝有電磁閥。
2、擴散泵： 當機械泵的極限真空不能滿足工作要求時，通常采用油擴散真空泵來獲得高真空。在油擴散泵的油槽內盛有低蒸氣壓的硅油，當硅油被電爐加熱沸騰時，產生的油蒸氣先向上，受阻后從各級噴嘴定向的高速噴出，當泵內的氣體分子擴散到油蒸氣中時，氣體分子的被高速定向的油蒸氣分子帶至油擴散泵的下端，而被前級機械泵抽出，而蒸氣分子本身遇到水冷后，又凝結成液體流回油槽，就這樣周而復始，達到連續排氣的目地。利用此技術可使系統處于5×10-5Pa的高真空狀態。必須注意的是：油擴散真空泵不可在小于0.1 Pa的環境中工作，否則其中的油會因為氧分子濃度過高而高溫變質，降低抽氣效率，也會使油擴散真空泵毀壞。
（1）熱偶真空計是利用稀薄氣體狀態下氣體分子的導熱性制成的。壓強越高，氣體分子碰撞燈絲帶走的熱量就越多，因此燈絲溫度越低，使得熱電偶產生的電動勢越大。熱偶真空計的測量范圍是5×105-1×10-1Pa。
（2）電離真空計是利用低壓氣體被快速電子碰撞而電離的規律制成的。它是一種三極電子管，將燈絲通以電流使其發射電子，電子與氣體分子碰撞使氣體分子電離，離子電流正比與氣體分子濃度，因此可以用電流去測量氣體壓強。電離真空計的測量范圍是10-1-1×10-5Pa，必須注意的是：電離真空計不可在小于0.1 Pa的真空中測量，否則會因為離子電流過大而燒毀電離規。
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